薄膜成長過程や加工途中での不具合や失敗したウェーハをお預かりし、高品質で低価格な再生基板としてお届け致します。基板上の不必要な膜(エピ層、金属膜、酸化膜、チッ化膜、ポリイミド等)が完全に取り除かれ、再びエピレデイウェーハとしてご使用頂けます。再処理はドイツで行われます。
薄膜成長過程、微細加工での失敗はありませんか?
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基板サイズ | GaAs/Ge | 2” 3” 4” 6” 8” |
InP/InSb | 2” 3” 4” | |
最少取扱枚数 | GaAs/Ge | 40枚(2”) 20枚(3”) 12枚(4”) 5枚(6”) 5枚(8”) |
InP/InSb | 40枚(2”) 20枚(3”) 12枚(4”) |
ご要望によって、再生済みGaAs、InP、Ge、InSb基板の販売も安価で提供できます。